Chemikalien-Versorgungssysteme
| Die stetig steigenden Integrationsdichten von Halbleitern mit Strukturbreiten bis hin zum sub-µm-Bereich stellen immer höhere Anforderungen an die Reinheit der Prozesschemikalien und an deren Handhabung. Die STANGL Ver- und Entsorgungssysteme garantieren eine sichere Chemikalienver- und -entsorgung der Prozessanlagen mit Säuren, Laugen und Lösemitteln. Die Anlagen sind so konzipiert, dass die Sekundärkontamination auf ein Minimum reduziert und die Qualität stets konstant gehalten wird. Damit ist eine störungsfreie Produktion mit hoher Ausbeute gewährleistet. Neben den einzelnen Chemikalienver- und Entsorgungssystemen bietet die Firma STANGL ebenso das komplette "Full Chemical Package" welches die gesamte Planung, die Anlagen, also auch den Rohrleitungsbai einschließt. |  | |
| Kunststoff-Laboreinrichtungen in den verschiedensten Ausführungen, als Standard-Einrichtung als auch in kundenspezifischen Ausführungen. Laboreinrichtungen in absolut metallfreien Einrichtungen sind ebenso erhältlich. |  |